FL-10光纤激光干涉尺是一种超高精度位置闭环反馈系统。利用与激光干涉仪相同的测量原理加上特有的实时环境补偿技术,使整个系统达到与激光干涉仪相同的位置反馈精度。
测量探头采用光纤传导方式与主机相连使得探头体积小巧,安装灵活,同时断绝了热辐射对测量精度的影响。经过补偿后的位置数据通过标准的TTL和SinCos信号输出,几乎可以与任何控制器连接。
低于300ns的时间延迟保证了超高的带宽,满足超高精度,同时也得到了比传统光栅尺更大动态范围。
光纤激光干涉尺参数表 |
测量精度
| 0.8ppm(0.8um/m)
| 电源
| DC 24V±2V,3A(MAX)
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分辨率
| 0pm-1um(TTL) 20-1um(SinCos 1Vpp)
| 数字接口
| 差分TTL 2.5M
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测量行程
| 0~4m(更长可定制)
| 模拟接口
| SinCos 1Vpp 600K
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测量速度
| ≥1m/s(更快可定制)
| 串行协议
| BiSS 8M
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响应时间
| <300ns
| 计算机接口
| USB 2.0
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真空波长精度
| 0.05ppm(24小时) 0.1ppm(3年)
| 原点锁存接口
| 光耦输入
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激光探头尺寸
| 35×51×83mm
| 工作温度
| 5℃~40℃
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反射镜类型
| 平面、角锥、差分型
| 工作压力
| 70KPa~115KPa
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激光对准调整范围
| ±2°
| 工作湿度
| 0~95% RH(非凝露) |